光學(xué)鍍膜機(jī)由真空系統(tǒng),蒸鍍系統(tǒng),冷卻系統(tǒng)和電氣系統(tǒng)組成,其中真空系統(tǒng)由真空腔體和排氣系統(tǒng)組成。真空腔體是鍍膜機(jī)的主體,鍍膜過程就是在真空罐中完成的,通過連接閥將真空腔體和排氣系統(tǒng)相連。
為了防止空氣分子對濺射離子的影響、提高膜層的質(zhì)量,在工作時,必須將光學(xué)元件和離子源置于真空環(huán)境中。
排氣系統(tǒng)主要由機(jī)械泵、羅茨泵和真空泵組成,負(fù)責(zé)排出真空罐內(nèi)的氣體、使罐內(nèi)形成真空環(huán)境。
蒸鍍系統(tǒng)主要指成膜裝置部分,鍍膜機(jī)器的成膜裝置有很多種,如電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等。
光學(xué)鍍膜機(jī)數(shù)據(jù)精密性比較高的真空鍍膜機(jī),常鍍鏡片、手機(jī)屏幕、攝像頭、HUD,激光雷達(dá),手機(jī)后蓋,應(yīng)用廣泛,技術(shù)高端,隨著生活質(zhì)量不斷提升,應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛。